（術語）Svāhā，又作蘇婆訶，娑婆訶，莎縛訶，薩婆訶，率縛訶，娑嚩賀，蘇和訶，馺婆訶，馺皤訶，沙訶，娑訶，莎訶等。真言之結句也。仁王經儀軌下曰：「娑縛賀，此雲成就義，亦云吉祥義，亦云圓寂義，亦云息災增益義，亦云無住義。今依無住義，即是無住涅槃。依此無住涅槃盡未來際，利樂有情，無盡期故。」大日經疏四曰：「末句雲莎訶，是驚覺義。以一切如來行菩薩道時同見如是義故，必定獅子吼發誠實言。我要當以此阿字門遍淨無盡眾生界，若我此誓不虛者，共有一切眾生誦我誠言，不虧法則，則當如其所願，皆充滿之。我今以隨如來三昧耶教說是真言，唯願不違本誓，故令我道場具足嚴淨，故言莎訶也。」又曰： 「莎訶者，如僧羯磨竟，加忍更可印成句。若我所發誠言必定無謬，唯願諸佛不越三昧耶故令所作圓滿也。」同九曰：「莎訶是驚覺諸佛令作證明，亦憶念持義。」 同十三曰：「娑訶是警發義也，以此真言警發諸佛，說此明時諸佛即驚發而起，加持行人也。」又曰：「娑嚩訶，娑嚩自也，訶是本也更問。」演密鈔六曰：「梵語娑嚩（合二）訶，此雲本誓，謂諸佛如來同一大誓故。」同七曰：「莎縛訶，是攝取義。」秘藏記本曰：「娑婆訶，究竟義，圓滿義，驚覺義，成就義，散去義。」 此五義如其次第表法界體性智等之五智也。究竟之義者，法界體性智也，是為方便究竟之極果故。圓滿之義者，大圓鏡智也，圓鏡圓滿其義同故。驚覺之義者，平等性智也，平等性智主修行之德，依三密之修行，驚覺已成之如來，又驚覺自己本有之菩提心故。成就義者，妙觀察智也，妙觀察智主成菩提之德故。散去義者，成所作智也，成所作智主入涅槃之德，若入涅槃則佛散失故。見秘藏記鈔五。