有因緣造作之法，叫做「有為法」，無因緣造作之法，即叫做「無為法」。在五位百法中，前面的九十四法，皆是有生滅變異的有為法，最後六法，才是清淨寂滅的無為法，也叫做「真如實相」。真如實相本來不一不異，為何又分出六法？蓋六種中的前五種，或依其原因而說，或約其作用來講，只有最後的真如無為才是無為法的本體。
　　一、虛空無為，虛空遍一切處，既是虛空，自然無生滅變化，故名虛空無為；
　　二、擇滅無為，擇是揀擇，滅是寂滅，又名涅槃，擇滅無為就是用真正的智慧去選擇佛法，修成涅槃之果，證入無為之境；
　　三、非擇滅無為，一切有為法，皆是仗因托緣而生起的，如果沒有能生之緣，或有因而無緣，則畢竟不生，這就是非擇滅的意思。再者，無為法的法性，自體本來清淨，沒有煩惱，既然沒有煩惱，也就用不著去揀擇智慧來滅除，這也就是所謂的非擇滅無為；
　　四、不動無為，說的是色界第四禪的禪定情形。佛經說，世界進入壞劫時，發生火水風大三災，動搖全世界，唯有四禪天，火水風三災都不能到達，這種三災不至，煩惱不生所顯現的無為，就叫做不動無為；
　　五、想受滅無為，想是想像，受是感受，也就是五蘊中之受、想二蘊，佛教所說的最高禪定叫做滅盡定，又叫做滅想受定，想、受不起了，無為境界就會顯現，這種一切想、受都不生的無為境界，就是想受滅無為；
　　六、真如無為，真者真實不虛，如者如常不變，這種既真實不虛而又如常不變的真如理體，就是諸法沒有生滅的無相無不相的真如實相，斷除了我、法二執，才能證得真如無為。