即就遍計所執性、依他起性、圓成實性等三性行唯識之觀。又作三性觀行、唯識觀、唯識心定。為顯唯識之實性,成唯識論卷九遂就三性立真妄、真俗之二種相對;即遍計為虛妄之唯識性,依他為世俗之唯識性,圓成為真實之唯識性。即如唯識二十論述記卷上所釋,遍計所執性為虛妄之唯識;依他起性為非有似有,乃因緣所生,故為因緣之唯識,即識之相;圓成實性為真實之唯識,即識之性。所觀之境的三性既通三種唯識性,故稱唯識三性觀。修此唯識三性觀,自淺至深有五重,稱為五重唯識觀,即:(一)遣虛存實識,即觀虛妄遣去所執,存留依他、圓成二性之實,此乃虛實相對之觀法。(二)舍濫留純識,乃心境相對之觀法。(三)攝末歸本識,乃體用相對之觀法。(四)隱劣顯勝識,乃心心所相對之觀法。(五)遣相證性識,乃事理相對,唯識觀之至極。(參閱「三性」563、「五重唯識」1123) p4427