法相宗所修的觀行，從淺至深，共有五重，名五重唯識觀。
第一重是遣虛存實，即遣除遍計所執的虛妄計度，而存依他起性及圓成實性的實體。
第二重是舍濫留純，即舍除雜濫的外境，而存留純粹的內識。
第三重是攝末歸本，即從見相二分的枝末作用上，攝歸自證分的本體。
第四重是隱劣顯勝，即隱心所的劣，而顯心王的勝。
第五重是遣相證性，即遣差別的事相，而證無差別的理性，也可以說，遣去一切法相，證入一切法性，名遣相證性。
又此五重唯識觀，即為五種相對：
第一重遣虛存實，為空有相對，要遣空而存有。
第二重舍濫留純，為心境相對，要舍境而留心。
第三重攝末歸本，為體用相對，要攝用而歸體。
第四重隱劣顯勝，為王所相對，要隱所而顯王。
第五重遣相證性，為事理相對，要遣事而證理。前四屬唯識相，後一屬唯識性。