【無為法】在五位百法中，第五位法是無為法。《百法明門論》：『第五無為法，略有六種，一、虛空無為，二、擇滅無為，三、非擇滅無為，四、不動無為，五、想受滅無為，六、真如無為。』無為法，是前四位法的真實法性，故稱為識實性，即第五實性唯識。在五位法中，六位心所為識之相應，稱相應唯識。十一種色法為識之所緣，稱所緣唯識。二十四種不相應行，是識之分位，稱分位唯識。而無為法是識之實性，故稱實性唯識。