「淺行阿闍梨」之對稱。深行,深秘之行業,即初地以上之行業。有廣狹二義:就狹義而言,初地以上證悟諦理與大日如來同位之阿闍梨,即稱深行阿闍梨;又就廣義而言,指第二無畏以上之阿闍梨,亦稱出世間深行阿闍梨。據大日經義釋演密鈔卷五載,若同毗盧遮那智業圓滿者,智即是觀自身為大日身業,即觀自身同薩埵,若如是者,即稱深行阿闍梨。[大日經疏卷三、大日經疏演奧鈔卷二](參閱「十重深行」461) p4658